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浦项科技大学开发热蒸镀环保半导体

来源:网络时间:2022-12-23 16:36

盖世汽车半导体是生活中不可或缺的产品,可以用在智能手机、电脑、车辆上。然而,在半导体的制造过程中,温室气体和废料日益增加,从而造成严重的环境问题。据国外媒体报道,为了解决这一问题,浦项科技大学的研究人员通过简单的热蒸发工艺,开发出了高性能的N型Bi2S3半导体和P型Te半导体。

目前用于生产第八代大面积有机发光二极管的热蒸发工艺可以实现大面积制造,成本低且环保。这些材料有望用于有机发光二极管(有机发光二极管)显示驱动电路和各种半导体电路。

LTPO驱动电路是低温多晶硅和氧化物半导体的结合,目前被用作有机发光二极管显示器的驱动电路。LTPO驱动电路由于功耗低,具有延长移动设备电池寿命的优势,但制造工艺复杂,成本高。为了满足日益增长的环境、社会和治理需求,研究人员致力于开发更简单、更环保的半导体制造工艺,以降低能耗。

该团队使用了一种类似石墨烯的二维材料——硫属元素。向这些元素中加入过渡金属制成的化合物具有导体和半导体的特性。研究人员没有使用传统工艺,而是使用Bi2S3通过热蒸发来制造半导体薄膜。在这个过程中,材料在高真空下热蒸发,产生的蒸汽会附着在板上。通过简单的热处理控制电荷量,可以不掺杂随意制造半导体和导体,被视为此次研究的核心专有技术。

基于这一工艺,研究人员制造了高性能N型薄膜晶体管,并以同样的方式成功开发了Te高性能P型半导体。此外,通过将这种晶体管和电子电路制造工艺添加到标准有机发光二极管制造工艺中,可以实现一步制造。这种方法将有助于显著降低有机发光二极管的制造成本。目前,高成本被认为是该技术的缺点之一。特别地,可以使用现有的有机发光二极管热蒸发设备,而不需要准备新的设备,因此降低了工艺所需的预算和制造成本。

这项研究的负责人Yong-Young Noh教授说:“这项研究中使用的Bi2S3和Te是非常有吸引力的材料,可以通过简单的热处理过程从导体转变为半导体。在这项研究中,通过简单的热蒸发工艺成功实现了晶圆级N型和P型晶体管以及结合这两种晶体管的互补反相器电路。”

研究人员表示,这项研究有望推动使用硫化物的各种半导体器件的研究以及相关技术的商业化。

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